四川光刻機是用來制造芯片的，本期小編想給大家簡單說一說四川光刻機的工作原理與性能指標，感興趣的朋友一起來看看吧！

四川光刻機的工作原理

利用光刻機發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用，類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是電路圖和其他電子元件。

簡單點來說，光刻機就是放大的單反，光刻機就是將光罩上的設(shè)計好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上，形成圖形。

四川光刻機的性能指標

光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍，分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。分辨率是對光刻工藝加工可以達到的Z細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制，所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。

對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。

曝光光源波長分為紫外、深紫外和j紫外區(qū)域，光源有汞燈，準分子激光器等。

以上就是小編整理分享的全部內(nèi)容了，如果大家對四川光刻機還有其他疑問，歡迎聯(lián)系我們或者關(guān)注我們官網(wǎng)——成都鑫南光機械設(shè)備有限公司